JEOL 7900F 모델 SEM으로 ECCI 찍는 법을 알아보자!
1. 샘플을 넣고, 홀더를 선택한다
2. 알맞은 SEM 조건을 장비에 입력한다
3. 진공이 10^-3까지 잡히면 Observation 버튼이 활성화 된다. ON을 눌러서 Beam을 켜준다.
그다음, BSE디텍터를 넣어준다.
4. 스캔조건을 맞춰서 넣어준다
5. RDC image보다 더 작은 []모드를 이용해서 화면을 작게 만든다.
작은 화면으로 맞추면 스캔하는 데 시간이 적게 걸리고, 초점을 맞추기 편하다.
6. 조건별 ECCI 이미지
샘플마다 조건이 다르니, 또렷한 이미지가 나오는 조건을 찾아본다.
7. ECCI는 고배율에서 초점 맞추는 것이 젤 중요하다
1 번 찍는데 20min~ 1hour 정도 걸린다
도움이 된다면, 공감&댓글 부탁드려요~
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