[장비] EDS 사용 시 에러대처법 (옥스퍼드 Aztec 이용) [22.12.26 업데이트]

폰 메모장에 적어놨던거 정리 ㅋㅋㅋ
너무 중구난방 되어있어서 정리해보았다 !
도움이 되길 👍👍
나도 사용하다보면 늘 까먹는듯 ㅠㅠ

장비명 : JEOL LA SEM 7900F 7610F

OXFORD 소프트웨어 사용시 에러들

1. Oxide 를 체크 안했는데 EDS에서 계속 뜰 때

Calculate composition > Setting

1-1. oxide 원소지정 안될때,
calculate composition 가서
setting 에 nomalize~ 누르기 체크



2. at %, wt % 추가할 때

Calculte Composition > Edit columns >
들어가서 원하는 columns 이름을 체크한다


3. Line EDS 할 때 데이터를 cps 말고 wt% at%로 변경할 때

EDS SEM > Linescan > Construct linescan
Map을 Quantmap으로 변경
아랫쪽에 line display type을 wt%, at% 원하는 것으로 바꿔줌


4. Aztec 프로그램이 작동이 안되거나, EDS 디텍터가 먹통일때,

Tidy up 프로그램을 돌려 재인식 재부팅시킨다.
( TIDY UP 하면 3가지 목록이 떠야함 )




5. Point 분석할 때, 찍은 점 모두 저장할 때,
Report result 옆에 작은 삼각형 누르고
> Site report (이걸눌러야 사이트별로 다 저장)

*MAP 저장은 바로 report results 그림 눌러줌




6. wt% 토탈 100안될 때

===[21.01.14] EDS 분석 메모===

Voltage, current 바꿔서 작업표시줄에 나와있는 deadtime을 줄여준다
(표면분석원할때는 voltage 낮춰준다)


[Line Eds]
line scan > new site > start > acquire line data > 선긋고 > start
전체평균값이 나옴


stackes lines : 한번에
vertical lines : 따로따로
tables 수치만 (전체선택해서 엑셀로 복붙 ctrl A)

report result (이미지만 그래프저장)

Origin으로 그래프 정리하는게 나음