사용 장비명 : 300kV Field Emission Transmission Electron Microscope
제조사(모델) : FEI (TF30ST)
TEM 샘플 홀더에 샘플 넣는 법
1. 진공 데시게이터에 보관된 홀더를 꺼낸다.
2. 샘플 있는 면이 아랫쪽에 가게끔 넣는다.
3. 샘플에 틈이 없게 홀더를 살살 흔들며 넣는다
4. 양쪽에 살짝 튀어나와있는 링을 넣는다.
위와 마찬가지로 살살 흔들며 넣어준다
**참고이미지
4. 샘플 조이는 나사로 조인다.
※ 억지로 너무 꽉 조이면 나사가 손상되므로, 나사가 더이상 안돌아가면 거기서 멈춘다.
5. 옆에서 봤을 때, 튀어나오지 않았다면 잘 들어간 것이다.
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TEM 장비에 샘플 홀더 넣기
1. 홀더를 평행하게 들고 옆에서 홀더가 수평인지 확인하면서 넣는다.
2. 먼저 반들어가고 구멍난 부분까지 한번 더 들어간다
※ 넣었을 때, 홀더에 걸려있으면 잘 들어 간것임. (돌아가면 안들어간거임)
3. 오른쪽 Tilt 코드를 꼽는다
4. FEI Double Tilt Holder 두번 클릭클릭 해준다.
5. 03:00분 끝날 때 까지 기다려준다.
카운트가 끝나고 빨간불이 꺼진다
6. 빨간 불이 꺼진 것을 확인한 후, 샘플 홀더를 넣는다.
7. 손을 감싸서 반시계 방향으로 돌린다.
돌리다보면 어느순간 빨려들어가는 부분이 있다.
서로 튀어나오고 구멍이난 부분까지 돌려서 넣는다.
옆에서 보았을 때 거의 틈이 없게끔!!
※ 꽉 잡고 있어야한다! (안쪽이 진공이라서 확 빨려 들어간다) 손을 놓아버리면 홀더, 진공이 다 손상 될 수 있다.
※ 손만 올리고 있는 느낌으로 천천히 넣어줌
※ 들어가는 쪽 남색 판이 안움직이게 넣어줌
딱 끝까지 들어간 것이다!
8. Column 진공을 체크한다.
Column 진공이 10이하로 떨어질 때까지 기다린다.
9. Tubo Pump가 10이하로 떨어진 걸 확인하고 Tubo를 눌러서 꺼준다.
※ Tubo On 글자가 활성화될때까지 완전히 기다린 다음에 눌러주어야한다.
누르고 나면, 틱틱 하면서 펌프 멈추는 소리가 난다
이 부분이 터보펌프
10. Col Valves Closed를 눌러서 Beam을 켠다
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TEM 장비에 샘플 홀더 빼기
1. Setup 창 → Beam 끈다
[ Col. Valve closed ] 버튼
노란색 : Ok
** status 빨간색 : 꺼진 것
** status 초록색 : 켜진 것
2. Search → Stage → 옆창 Control
→ Reset → Holder → LM 모드
3. 오른쪽 코드를 뺀다.
4. 시계방향으로 돌리면서 반쯤 뺀다.
(한쪽손으로 장비 왼쪽 부뷴을 지탱하고 빼면 편하다)
5. 반쯤 빠진상태에서,
손가락 힘으로 벌리면서 살짝 뺀다.
6. 살살 끝까지 홀더를 뺀다음
전선을 정리하여 데시게이터 안에 넣어놓는다
(홀더가 더러우면 에탄올로 닦아주고,
오링은 그리스를 진짜 조금 발라준다)
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